電子ビーム直接描画リソグラフィー装置の市場規模、シェア、成長、業界分析、タイプ別（ガウシアンビームEBL、成形ビームEBL）、アプリケーション別（学術、産業、軍事、その他）、地域別洞察と2035年までの予測